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［企業ご担当者の皆様］各種装置、部品の修理，メンテナンス

 装置，部品の修理及びメンテナンス

各種ＲＦ関連、ジェネレータ，マッチャー等　修理、

Ｏ／Ｈ（CENTURA，P5000，ASM E-10他　修理対応リスト添付）

 制御ボードの修理・再生

各種モニターの修理（TEL,　NIKON社製他）

AMATヒートエクスチェンジャー再生と改良　

各種搬送ロボット（ASYST，RORZE，AMAT，BROOKS，P5000等）

各種ポンプＯ／Ｈ

磁性流体シャフトＯ／Ｈ
 
各種装置
CANON：FPAｼﾘｰｽﾞ/MASｼﾘｰｽﾞ，　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
KLA：KLA-2000ｼﾘｰｽﾞ，5000ｼﾘｰｽﾞSurfscan，AlphStep　等　
 
 
※現品を確認後修理の可・不可の判定を行い事前見積りを提出致します。
 
 

 

 

 
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